2024年10月17日至20日,首屆亞太原子層沉積會議(1st Asian-Pacific Atomic Layer Deposition Conference)在上海外高橋喜來登酒店成功舉辦。本次大會由Asian Pacific-ALD聯盟主辦,華中科技大學及華中科技大學無錫研究院共同承辦。華中科技大學陳蓉教授擔任大會主席,韓國蔚山國家科學技術研究所Soo-Hyun Kim教授擔任聯席主席。大會吸引了來自韓國、日本、澳大利亞、芬蘭、新加坡、越南、俄羅斯等多個國家和地區的300余位專家學者,共同探討ALD這一前沿技術的最新研究進展和應用前景。本次會議共貢獻了125份報告,包括2個大會報告、18個主題報告、37個邀請報告、38個口頭報告和30個海報展示,涵蓋了豐富的研究主題。

開幕式上,大會主席陳蓉教授致歡迎辭,對參加本次亞太原子層沉積會議的各位專家、學者表示熱烈歡迎,期待通過本次會議促進學術界與產業界的交流,并預祝本次會議取得圓滿成功。陳蓉教授回顧原子層沉積(ALD)技術五十年以來的發展歷程,表示本屆會議將促進各國學者之間的合作與交流,推動原子層沉積技術的發展與應用。韓國延世大學Hyungjun Kim教授進行了題為“ALD for Two Dimensional Chalcogenides Nanomaterials”的大會報告,介紹ALD技術在合成二維過渡金屬二硫化物納米片方面的應用。東京電子有限公司總監Yamato Tonegawa博士進行了題為“Process Technologies to Enable Future Device and Scaling”的大會報告,從半導體設備供應商的角度探討半導體制造的前景,介紹先進技術的利用,并舉例說明 ALD 反應器及其在薄膜形成中的應用。

在各分論壇上,江蘇微導納米科技股份有限公司首席技術官黎微明、香港科技大學王文教授、南京大學丁孫安教授、中國科學技術大學路軍嶺教授、山東大學陳杰智教授、華東理工大學莊黎偉副教授、西北工業大學張健康副教授、南京大學萬昌錦教授、中國科學院微電子研究所王曉磊研究員、南方科技大學于嚴淏副教授、上海科技大學謝琎研究員、四川大學趙德威教授、西安近代化學研究所馮昊副研究員、香港大學Lain-Jong Li教授、中國科學院上海微系統與信息技術研究所鄭理研究員、柔電(武漢)科技有限公司CEO解明、東南大學劉道銀教授、浙江大學趙俊杰研究員、安徽大學何剛教授、南京大學李愛東教授、吉林大學段羽教授、南開大學孫甲明教授、上海大學丁星偉副研究員等的交流內容從半導體技術到能源應用,從理論仿真到實驗研究,探討了ALD技術發展的趨勢、方向和應用實例,展示了原子層沉積技術的最新科研成果和進展,體現了亞太地區在該技術領域的前沿研究成就與廣泛影響力。一位與會者表示:“The conference exceeded my expectations. It provided a unique platform to engage with world-class experts and explore cutting-edge developments in ALD technology.”(此次會議超出了我的預期,它為我提供了一個與世界頂尖專家交流、并深入探索ALD技術前沿進展的獨特機會。)另一位來自工業界的專家提到:“The diversity of topics and the depth of discussions were truly impressive. I made valuable connections that will undoubtedly lead to future collaborations.”(議題的多樣性和討論的深度給我留下了深刻印象,我結識了許多寶貴的合作伙伴,這無疑將促成未來的合作。)

在大會的尾聲,本屆大會主席、華中科技大學陳蓉教授將象征大會責任與使命的2024 AP-ALD大會旗幟鄭重交接給下一屆大會主席、韓國蔚山科學技術院Soo-Hyun Kim教授。這一交接不僅標志著本次大會的圓滿結束,也預示著亞太原子層沉積會議的持續傳承和不斷發展。隨著旗幟的傳遞,會議的影響力將進一步深化,推動下一屆在已有成果基礎上繼續擴大國際合作,聚焦更具實質性的技術突破和應用成果。
此次會議在上海的成功舉辦不僅為上海的經濟發展注入了新活力,也進一步增強了長三角地區在科技創新領域的影響力,推動了區域內的協同發展。無錫研究院作為長三角地區的重要科研機構,共同承辦了此次亞太ALD會議,加強了與國內外專家的交流與合作,彰顯了其在推動區域科技交流與合作中的重要作用。

本次會議得到思銳智能、邁納德、Swiss Cluster、香港電子、源象化學、SUPERALD、愛牟源、朗銘潤德、Nata、北方華創和蘇州晶拓半導體科技有限公司的積極參與和支持,推動了產業與科研的協同創新,促進了技術在實際應用中的轉化和發展。
